Te sentèz la nan Silisyòm nitrid premye rapòte nan 1857 pa Henri Edouard Saint-Clair DeVille ak Friedrich Wöhler. Nan sentèz yo, yo te mete yon kreze ak Silisyòm nan yon kreze ki te ranpli avèk kabòn ak chofe pou redwi pénétration oksijèn. Yo rapòte yon pwodwi ke yo te rele Silisyòm nitrid, men yo te kapab detèmine konpozisyon chimik li yo.
Nan 1879, Paul Schützenberger jwenn pwodwi a pa chofaj Silisyòm melanje ak yon materyèl pawa (yon keratin ki ka itilize kòm yon revètman creuctes jwenn nan melanje chabon, brikèt chabon, oswa coke ak ajil) nan yon gwo founo dife eksplozyon ak rapòte li kòm yon konpoze ak Si3N4. An 1910, Ludwig Weiss ak Theodor Engelhardt te pwodwi SI3N4 pa chofaj Silisyòm elemantè nan azòt pi. Nan 1925, Friedrich ak Sittig sentetize Silisyòm nitrid pa chofaj silikon diyoksid ak kabòn nan yon atmosfè nitwojèn nan 1250-1300 degre lè l sèvi avèk rediksyon tèmik nan kabòn.